Yarimo'tkazgichli bosim sezgichlarini ikkita toifaga bo'lish mumkin, ularning asosiy printsipiga ko'ra, yarimo'tkazgichli PN birikmasi (yoki Shottki birikmasi) stress sharoitida I-υ xarakteristikasida o'zgaradi. Bosimga sezgir bu turdagi komponentlarning xarakteristikalari juda beqaror va unchalik rivojlanmagan. Ikkinchisi - yarimo'tkazgichli bosim sensori asosiy turi bo'lgan yarimo'tkazgichli piezorezistiv effekt asosida yaratilgan sensor. Dastlabki kunlarda yarimo'tkazgichli qarshilik o'lchagichlarining ko'p qismi elastik elementlarga yopishtirilib, har xil kuchlanish va kuchlanishni sinovdan o'tkazuvchi asboblar tayyorlanadi. 1960 -yillarda yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalarning texnologik rivojlanishi bilan bir qatorda piezorezistiv komponentlar sifatida diffuzion rezistorli yarimo'tkazgichli bosim sensorlar paydo bo'ldi. Ushbu turdagi bosim sensori oddiy va ishonchli tuzilishga ega. Nisbatan harakatlanuvchi komponentlar yo'q. Sensorning bosimga sezgir elementi va elastik elementi birlashtirilgan, bu mexanik uskunaning qoloqligini va stressni bo'shashini yo'q qiladi va sensorning xususiyatlarini yaxshilaydi.
Yarimo'tkazgichlarning piezorezistiv ta'siri Yarimo'tkazgichlar tashqi kuchlar bilan bog'liq xususiyatga ega, ya'ni qarshilik (p belgisi bilan ko'rsatilgan) erning kuchi bilan o'zgaradi, bu piezorezistiv ta'sir deyiladi. Zamin birligi ta'sirida qarshilikning nisbiy o'zgarishi piezorezistiv koeffitsient deb ataladi va the belgisi bilan ifodalanadi. Matematik formulada 墹 ρ/ρ=as sifatida ifodalanadi
Formulada stress stressni ifodalaydi. Yarimo'tkazgichli rezistor stressga duch kelganda sabab bo'lishi kerak bo'lgan qarshilik qiymatining o'zgarishi qarshilikning o'zgarishi bilan belgilanadi, shuning uchun piezorezistiv ta'sir uchun yuqoridagi munosabat tenglamasini R/R=as deb ham yozish mumkin.
Tashqi kuch ta'sirida yarimo'tkazgichli kristallda ma'lum er zo'riqishi (σ) va kuchlanish (ε) paydo bo'ladi. Ular orasidagi ichki munosabatlar xomashyoning Young&39 -moduli (Y) bilan belgilanadi, ya'ni Y=σ/ε.
Agar piezorezistiv ta'sir yarimo'tkazgich bardosh bera oladigan kuchlanish bilan ifodalangan bo'lsa, u holda R/R=Gε
G ga bosim sensori sezuvchanlik koeffitsienti deyiladi, bu birlik zo'riqishidan kelib chiqqan qarshilikning nisbiy o'zgarishini ifodalaydi.
Piezoresistiv indeks yoki epchillik omili yarimo'tkazgichli piezorezistiv ta'sirning asosiy fizik parametridir. Ularning orasidagi munosabatlar xomashyoning Young' moduli, ya'ni G=D
Yarimo'tkazgich kristallari egiluvchanligi bo'yicha anizotropik bo'lganligi sababli, Young&moduli va piezoresistiv koeffitsienti kristalli yo'nalishi bilan o'zgaradi. Yarimo'tkazgichli piezorezistiv ta'sirning o'lchami ham yarimo'tkazgichning qarshiligi bilan chambarchas bog'liq. Qarshilik qanchalik past bo'lsa, sezuvchanlik omilining qiymati shuncha kichik bo'ladi. Diffuzion rezistorning piezorezistiv ta'siri kristallanish tendentsiyasi va diffuzion rezistorning nopoklik kontsentratsiyasi bilan belgilanadi. Nopoklikning asosiy kontsentratsiyasi diffuzion qatlamning sirtdagi ifloslanish kontsentratsiyasini bildiradi.
